ローカルVOC

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半導体クリーンルームESH処理装置

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半導体産業の生産プロセス中、黄色光領域のフォトレジスト コーティングやその他のプロセスによって揮発された有機物は吸収および濃縮され、集中処理のために後続の中央有機排気システムに輸送されます。 クリーンルーム環境での VOC の蓄積を回避し、生産従業員の労働安全衛生を効果的に保護し、顧客プロセスの製品歩留まりを向上させます。

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