温控设备

チラー


温度制御装置 (チラー) は、主に半導体製造プロセスにおける反応室の温度を正確に制御するために使用され、主に熱交換器、循環ポンプ、コンプレッサー、および制御システムで構成される自己平衡循環装置です。



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