業務概要
プロセス排ガス管理システムソリューション
集積回路、半導体表示、新エネルギー産業の生産過程で大量に使用される化学物質と特殊ガスは、成分が複雑なプロセス排ガスを発生し続けている。排ガス対策は客先の生産能力利用率、製品の歩留まり、従業員の職業健康、生産環境に直接影響する。各工程で発生する排気ガスに対して、盛剣は一般排気、酸性、アルカリ性、有毒、VOCsなどの排気ガスシステムの解決案を提供します。
集積回路
集積回路
集積回路製造のコアプロセスは主にドーピング、リソグラフィ、エッチング、薄膜プロセスである。シリコンシートの洗浄、酸化、湿式腐食、乾式腐食、イオン注入、拡散、CVDなどの段階で大量の酸塩基、砒素、リン酸、有機物などのプロセス排ガスが発生する。
半導体ディスプレイ
半導体ディスプレイ
TFT−LCDのアレイ、カラーフィルム、カートリッジ形成、モジュール工程は酸性、アルカリ性、有機排ガス及びフッ素含有排ガスなど大量の有害排ガスを発生する。AMOLEDのアレイ、モジュール工程は酸性、アルカリ性、有機などのプロセス排ガスを発生する。
新エネルギー
新エネルギー
半導体業界で蓄積した設計能力、専門人材及び実戦経験により、我が社は先進的なガバナンス技術と総合的なソリューションの応用を新エネルギー産業の環境ガバナンスなどに拡大した。
中央排気ガス処理システム
窒素酸化物排ガス処理システム
排ガス中の窒素酸化物を効果的に除去し、黄煙問題を除去する。
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HOOK UP セカンダリ構成
HOOK UPは主に、プロセス装置の設置完了後に、メインシステムのリザーブポイントとプロセス装置のデマンドポイントを接続するために使用されます。
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一般排気システム
過酷な生産環境をクリーンエリアに維持
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酸・アルカリ排ガスシステム
中和反応の精密な応用
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ゼオライトローター濃縮システム
継続的かつ効率的な濃縮により、後処理がより経済的になります
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再生焼却システム RTO
強力な酸化能力と効率的な廃熱回収
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直火焼却システムTO
複雑な VOC の第一選択
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結露処理システム
優れた薬品回収力と高沸点有機物の処理能力
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カートリッジ式除塵システム
排ガス粉塵を濾過して乾燥させます
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湿式電気集塵システム
強力な粉塵除去だけでなく、酸性ミストの除去も可能
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袋除塵システム
乾燥した排ガス中の粉塵を効果的にろ過して排出基準を達成します。
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セミ乾式脱硫装置 SDA
排ガス中のSOₓなどの酸性ガスを効果的に除去し、次の処理プロセスに進みます。
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湿式脱酸システム
排ガスから窒素酸化物を効率的に除去し、超クリーンな排出を実現します。
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選択的触媒還元システム SCR
排ガスから窒素酸化物を効率的に除去し、超クリーンな排出を実現します。
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シラン燃焼回収システム
太陽電池や液晶TFT-LCDフィルムのPECVDなどのプロセスで発生する特殊ガスを効果的に回収します。
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スリムな VOCs 浄化オールインワンマシン
精密一体型ワンストップミニ処理装置
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クリーンルーム用特殊加工排気管
盛剣コーティングされたエアダクト、ハイテク工場プロセス排気システムに重点を置いています
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本 部: 上海市嘉定区匯発路301号盛剣ビル
海外本部: 2 Science Park Drive, Ascent #01-08シンガポール
華東製造センター: 江蘇省昆山市巴城鎮徳昌路318号
華中製造センター: 湖北省孝感市ハイテク区復興大道398号
華南製造センター: 広東省恵州市恵陽区宏興路8号
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